CF法兰是超高真空系统的核心连接部件，遵循ISO 3669等国际标准，尺寸以通径划分（如16CF、35CF、50CF至300CF系列），选型需结合真空等级、工作压力与介质特性，匹配管路通径的同时，关注密封形式（金属垫片）及连接方式（焊接/卡箍），应用核心在于通过高精度法兰面与金属垫片的弹性变形实现超高真空密封，其规格表涵盖通径、外径、螺栓孔数及规格、密封槽尺寸等参数，是选型、安装与维护的关键参考依据。
CF法兰（ConFlat Flange）作为高真空与超高真空系统中最常用的密封连接件，其尺寸精度直接决定了真空系统的密封性能与稳定性，本文将围绕CF法兰尺寸的标准体系、关键参数及选型要点展开，帮助读者快速掌握CF法兰尺寸的核心知识。
CF法兰尺寸的标准体系
CF法兰尺寸遵循国际通用标准,主流包括ISO 3669（国际标准化组织）与ANSI B16.5（美国国家标准），其中ISO 3669是真空领域最常用的标准，标准中对CF法兰的尺寸规格进行了明确界定，主要以英寸为单位标识（如1.33"、2.75"、4.5"等），每个规格对应固定的外径、内径、螺栓孔布局及密封槽尺寸。
CF法兰尺寸的关键参数解析
以常见规格为例,CF法兰的核心尺寸参数包括：
- 公称尺寸（Nominal Size）：如1.33"、2.75"，代表法兰的基本规格，对应管道的通径。
- 外径（OD）：法兰盘的更大直径，用于安装空间的预留（如1.33" CF法兰外径约101.6mm）。
- 内径（ID）：法兰中心通孔直径，与管道内径匹配（如1.33" CF法兰内径约34mm）。
- 密封槽尺寸：CF法兰采用金属垫片（如铜垫片）密封，密封槽的直径、深度和宽度是关键（如1.33" CF密封槽直径约63.5mm，深度约1.5mm）。
- 螺栓孔参数：包括孔数、孔径及孔中心距（如1.33" CF法兰有4个φ6.35mm的螺栓孔，孔中心距约82.55mm）。
下表为典型CF法兰尺寸参数示例：
| 公称尺寸 | 外径(mm) | 内径(mm) | 密封槽直径(mm) | 螺栓孔数/孔径(mm) |
|----------|----------|----------|----------------|-------------------|
| 1.33" | 101.6 | 34 | 63.5 | 4/φ6.35 |
| 2.75" | 152.4 | 70 | 114.3 | 8/φ6.35 |
| 4.5" | 228.6 | 114 | 190.5 | 12/φ8.4 |
CF法兰尺寸选型的核心要点
- 匹配真空级别：超高真空系统（10⁻⁷Pa以上）需选择高精度尺寸的CF法兰，确保密封槽与垫片的贴合度；高真空系统可适当放宽，但仍需严格遵循标准。
- 管道通径匹配：法兰内径需与连接管道的内径一致，避免气流阻力或泄漏风险。
- 安装空间限制：根据设备布局选择合适外径的法兰，避免因空间不足导致安装困难。
- 螺栓与垫片配套：不同尺寸的CF法兰需使用对应规格的螺栓（如1.33"用M6螺栓）和金属垫片（如铜垫片的直径需与密封槽匹配）。
CF法兰尺寸的应用场景
CF法兰尺寸的选择直接影响真空系统的性能,常见应用包括：
- 半导体制造：光刻机、刻蚀机等设备的超高真空腔体连接；
- 科研实验室：粒子加速器、真空镀膜机的真空管路；
- 航天航空：卫星组件的真空测试系统。
CF法兰尺寸是真空系统设计与安装的核心环节,掌握其标准体系、关键参数及选型逻辑，能有效保障系统的密封可靠性，在实际应用中，需结合真空级别、管道规格及安装环境，选择合适尺寸的CF法兰，确保系统稳定运行。
通过本文的解析,相信读者对CF法兰尺寸有了全面的认识，在后续的选型与应用中能更加精准高效。